X-Prep®Vision™-基材测量仪

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X-Prep®Vision™-基材测量仪

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X-Prep®Vision™是一种计量工具，可以测量硅和半透明基板。对于需yao均匀减薄到特定目标且公差为+/- 3 µm或更高的应用场合来说是必要的。

X-Prep®夹具适配器也固定在 X-Prep®Vision™的电动工作台上，确保在系统之间传输时，测量/工具控制坐标保持对齐。

每个系统都包含具有130多种材料的库（例如， GaAs，InGaAs，SiC，蓝宝石/ Al 2 O 3，InP，SiGe，GaN，光刻胶）。

测量与观察-工作原理

红外光聚焦到样品上，并基于材料的折射率创建信号。返回信号由软件分析以产生厚度值。

厚度低于10 µm

对于需yao减薄至小于10 µm的应用，只有添加可见光光谱仪附件，才能进行精准测量。

特征：