$SiC-6H\碳化硅$

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SiC-6H\碳化硅

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常见问题：SiC最常见的结构有3C-SiC（闪锌矿结构）；2H-SiC（纤锌矿结构）；4H-SiC；6H-SiC 。其中3C-SiC又称为β-SiC，2H-SiC称为α-SiC。

晶胞结构	六方
晶格常数	a =3.08 Å c = 15.08 Å
排列次序	ABCACB (6H)
生长方法	MOCVD
方向	生长轴或偏(0001) 3.5°
抛光	Si面抛光
带隙	2.93 eV (间接)
导电类型	N
电阻率	0.076 ohm-cm
介电常数	e(11) = e(22) = 9.66 e(33) = 10.33
热导率@300K	5 W / cm . K
硬度	9.2 Mohs